MEMS 压力传感器凭借其小型化、高精度和低功耗的特点，正在医疗健康领域发挥越来越重要的作用。
主要应用场景
血压监测：电子血压计是 MEMS 压力传感器最成熟的医疗应用之一。现代臂式和腕式血压计通常使用精度达 ±1mmHg 的 MEMS 压力传感器来测量袖带压力。
呼吸机与 CPAP：持续正压通气（CPAP）设备需要精确的气道压力监测。MEMS 压力传感器可以实时监测气道压力变化，帮助设备自动调节输出压力。
输液泵：智能输液泵需要精确的压力传感器来监测管路中的液体压力，确保输液速率的准确性，并在管路堵塞时及时报警。
医疗级 MEMS 压力传感器的关键要求
高精度：全温范围内精度优于 ±1% FS。长期稳定性：年漂移量小于 0.1% FS。生物兼容性：与人体接触的材料需符合 ISO 10993 标准。小型化：便于集成到便携式和可穿戴设备中。
聚晶半导体的医疗级压力传感器产品线正在积极开发中，预计 2027 年推出首批面向医疗应用的产品。